テクニカルノート

飯山精器の製品はどこで使われているの？
第11回　半導体製造装置用バルブ部品

現在ベトナム工場「ISV」で加工している主力製品群の一つは、半導体製造装置・設備の超高純度流体、可燃性、毒性流体向けのガスの流量を調整するバルブに使用されています。

半導体製造の、例えば洗浄工程が沢山有りますが、酸洗浄、中和、アルカリ洗浄、中和と各工程で様々な薬液、ごく微量でも人体に触れると危険な洗浄液が使用されています。そのために傷や打痕の管理がとても厳しい製品群になります。

飯山精器（株）では、ボンネット（弁箱ふた/カバー）、ボンネット・ナット（めねじ（雌ネジ）が加工され、おねじ（雄ネジ）が加工された部品と組み合わせて使用されます）、ステム（弁棒）を加工しています。